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"고성능 포토레지스트 개발해 기술우위 확보" 
"독자 개발은 아니지만협력사와 의견 교환하며 협업할 것"

요즘 가장 핫한 삼성전자 관련 국내 반도체 소재·부품·장비업체 투자, 급락한 D램 고정거래가격에 대해서 이야기 해보겠습니다.

 

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삼성전자, EUV 포토레지스트 직접 개발?

"고감도 고성능 포토레지스트를 개발하며 기술우위를 확보하겠다."

지난 30일 삼성전자 2분기 실적설명회에서 메모리사업부 마케팅팀 전무가 'EUV(극자외선) 노광장비를 활용한 D램 생산' 일정을 설명하면서 언급했습니다. 포토레지스트는 감광액이라고도 불리는 반도체 노광공정의 핵심 소재입니다. 빛을 쬐면 녹거나 반대로 녹지 않는 물질로 변하는 소재인데 웨이퍼에 포토레지스트를 바르고 회로 모양대로 빛을 쬐면 사진이 찍히듯 반도체 원판에 회로 모양이 인쇄됩니다.

현재 삼성전자는 회로선폭 7나노미터(nm, 10억분의 1m) 이하 초미세 파운드리(반도체 수탁생산) 공정에서 EUV(극자외선) 노광장비를 활용하고 있습니다.  EUV 노광장비는 광원으로 극자외선을 쓰기 때문에 기존 노광장비와 비교해 세밀하게 회로를 그릴 수 있고 웨이퍼에 회로를 새기는 작업을 줄일 수 있는 게 큰 장점인데요.

 

전적으로 일본에 의지하는 EUV 노광장비

네덜란드 ASML이 독점 생산하고 대당 가격이 1500억~2000억원 정도인데 '사고 싶어도 못 사는' 장비입니다. 지난해 중국 파운드리 업체 SMIC가 공정 미세화를 위해 EUV 노광장비를 주문했지만 미국 정부가 네덜란드 정부에 '중국 판매 재고'를 요청하면서 무산됐었습니다. EUV 장비를 활용한 노광공정에 쓰이는 포토레지스트를 만들 수 있는 국내 업체는 현재 없습니다. 일본 TOK, JSR, 신에츠 등 등 일본 업체 의존도가 90% 이상으로 절대적인 수준인데요. 일본 정부가 지난해 7월 EUV용 포토레지스트를 수출 규제 품목에 넣은 것도 이런 이유입니다. 일본 수출 규제 이후 글로벌 화학업체 미국 듀폰이 국내에 포토레지스트 공장을 짓겠다고 선언했지만 언제 양산이 될 지는 알 수 없는 상황입니다.

이런 정치적 리스크적인 상황에서 공식 석상을 통해 'EUV를 통한 D램 생산'과 함께 '포토레지스트 개발'을 언급하자 관심이 커지고 있습니다.  삼성은 독자적으로 개발한다는 얘기가 아니라 고성능·고감도' EUV용 포토레지스트를 공정에 투입할 수 있도록 협력사와 긴밀하게 협의하겠다는 의미라고 일축했는데요.

삼성전자가 이미 일본업체의 고품질 EUV용 포토레지스트를 쓰고 있는 상황에서, 굳이 '개발' 얘기를 꺼낸 이유가 뭘까. 장기적으로 일본 업체에 대한 의존도를 낮추려는 의지를 나타낸 것이라는 추측입니다. 물론 좋은 제품을 공급하는 일본 업체들을 일부러 외면할 필요는 없지만 일본 정부와의 '정치적인 갈등'이 끊이지 않는 상황에서 일본 업체에 90% 이상 의존하는 상황은 벗어날 필요가 있다는 뜻입니다.

 

포토레지스트 전문 스타트업 인프리아 지분투자 

실제 삼성전자는 미국 포토레지스트 전문 스타트업 '인프리아'에 대한 지분투자를 이어가고 있습니다. 인프리아는 EUV용 '무기 포토레지스트' 개발 기술을 보유하고 있는 것인데요. 올 초엔 일본 업체의 '유기 포토레지스트'보다 인프리아의 무기 포토레지스트의 성능이 뛰어나고, 삼성전자의 테스트가 '마무리 단계'라는 보도가 나오기도 했습니다.

두 번째 가능성은 현재 EUV용 포토레지스트 개발에 주력하고 있는 동진쎄미켐 등에 대한 추가 지분투자입니다. 삼성전자가 최근 '동반성장', '상생'을 강조하며 반도체 협력사들과 기술개발 MOU를 체결하고 협업을 강화하고 있습니다.

지난 31일엔 노광공정 핵심 소재인 '블랭크마스크' 전문 국내 업체로 EUV용 블랭크마스크를 개발 중인 에스앤에스택에 659억원, 웨이퍼 검사장비업체 와이아이케이에 473억원을 투자했습니다. 삼성전자가 소재, 부품, 장비 업체에 투자한 건 2017년 솔브레인과 동진쎄미켐 지분 4.8%씩을 매수한 이후 3년 만에 일입니다.  삼성전자가 협력사에 대한 추가 투자를 할 것으로 전망되는데 이는 일본 제품을 배척하는 게 능사는 아니지만 의존도가 지나치게 높다면 다변화할 필요성이 크기 때문입니다. 미국이나 국내업체를 육성하는 게 삼성전자에 장기적으로 도움이 될 것이라고 전망하고 있습니다.

마치며.

삼성전자를 포함 SK, LG 모두  중요한 핵심부품과 소재는 자체 생산할 수 있어야 할것입니다.  최소한 외, 내부 조달 비율을 50%까지는 유지해야 시장에 더 우위를 설 수 있을 것인데요.

동시에 더 빠르게 기술의 진보를 이룰 수 있을 것입니다. 첨단으로 치닫을수록 중소기업 입장에서는 고난도로 개발하기가 벅차 고가 장비도 많이 들어 개발 비용이 엄청들며 성공에 대한 보장도 없기 때문입니다. 

돈도 있고 인력도 있고 자금도 넉넉하면 직접 개발하여 기술 이전 부분 생산하게 하는 것이 좋을 것입니다. 정권이 다시 바뀌면 한일관계는 회복될 수 있을 수 있지만 이번 경제갈등으로 바뀌지 않는 것은 기업 경영인들의 머리에 한국과 일본은 항상 같이 가는 파트너가 아니라는 것입니다.

기술이 부족하다고 전적으로 한 나라에 의존하는 것은 엄청난 리스크라는 것을 다시 한번 뼈저리게 느끼게 되는 순간이었습니다. 

 

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